技術(shù)編號:6925240
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及采用ZnO、MgZnO等ZnO系半導(dǎo)體的ZnO系半導(dǎo)體元件。 背景技術(shù)近年來,作為具有多功能性優(yōu)良的材料,與GaN、AlGaN、InGaN、InGaAlN.GaPN等含 有氮元素的氮化合物半導(dǎo)體相比,ZnO系半導(dǎo)體備受矚目。ZnO系半導(dǎo)體是寬帶隙半導(dǎo)體的一種,激子束縛能非常大,即使在室溫下也能夠穩(wěn) 定地存在,能夠放射單色性優(yōu)良的光子。因此,ZnO系半導(dǎo)體在作為照明、背光燈等光源使 用的紫外線LED、高速電子器件、表面彈性波器件等方面實現(xiàn)實用化。但...
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