技術(shù)編號(hào)：6925176
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置和半導(dǎo)體裝置的制造方法，更詳細(xì)地說，涉及將形成在半 導(dǎo)體基板上的被轉(zhuǎn)移層轉(zhuǎn)移到玻璃基板等目標(biāo)基板上的半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體裝置的制 造方法。背景技術(shù)近年來，正在研究在玻璃基板等目標(biāo)基板上形成包括單晶半導(dǎo)體膜的薄膜晶體管 (TFT =Thin Film Transistor)等器件的技術(shù)。其中之一，存在如下所謂的轉(zhuǎn)移技術(shù)將被轉(zhuǎn)移層轉(zhuǎn)移(transfer)到玻璃基 板等被稱為所謂的主基板的目標(biāo)基板上，所述被轉(zhuǎn)移層包括形成在SOI (Silic...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。