技術(shù)編號:6924495
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種平面顯示器面板的結(jié)構(gòu)及其制造方法,特別是涉及一種。請參見圖2,其為一低溫多晶硅薄膜晶體管(Low Temperature PolySilicon Thin Film Transistor,LTPS-TFT)成長于一玻璃基版上的制造工藝步驟示意圖。圖2(a)表示出于該玻璃基版20上形成一緩沖區(qū)21(butterlayer,通常以二氧化硅完成)以及一本質(zhì)非晶硅(i-a-Si)層后,再利用一激光結(jié)晶(laser crystallization)制造...
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