技術(shù)編號(hào)：6923346
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。體襯底上制造的被隔離的三柵極晶體管背景技術(shù)在集成電路器件的制造中，隨著器件尺寸的持續(xù)減小，諸如三柵極晶體管的多柵極晶體管已經(jīng)變得更流行。在常規(guī)工藝中，三柵極晶體管通常被制造在體硅襯底上，或被制 造在絕緣體上硅襯底上。在一些情況下，由于體硅襯底的成本低并且由于其使得三柵極制 造工藝的復(fù)雜度更小，所以體硅襯底是優(yōu)選的。在其它情況下，由于三柵極晶體管的改善的 短溝道特性，所以絕緣體上硅襯底是優(yōu)選的。 在體硅襯底上，三柵極晶體管的制造工藝經(jīng)常在將金屬柵電極的底部與...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。