技術(shù)編號:6923122
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于形成多個(gè)柵結(jié)構(gòu)的方法,并且涉及用于形成多個(gè)電子器件的方法。背景技術(shù)導(dǎo)電材料可以用作電子器件以及其他應(yīng)用中的柵電極。例如,在涂覆或沉積電介質(zhì)材料之前可以將這些材料沉積并任選地圖案化在基底上以形成電子器件。 多種電子器件包括與柵電介質(zhì)相鄰的導(dǎo)電柵電極。柵電介質(zhì)充當(dāng)電子器件中的絕緣體??梢杂秒娊橘|(zhì)涂覆導(dǎo)電材料或?qū)?dǎo)電材料陽極化以用于形成與柵電極相鄰的柵電介質(zhì)??赏ㄟ^傳統(tǒng)途徑氧化可陽極化的金屬以生成多孔或無孔的電介質(zhì)層。 —般在電解質(zhì)溶液中陽極化生成...
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