技術(shù)編號(hào):6922778
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種抓具、特別是伯努利吸盤用于無接觸抓取平面的構(gòu)件如硅基的晶片,包括 一個(gè)與一可控制的機(jī)械手臂連接的夾緊環(huán); 一個(gè)經(jīng)由一喇叭形構(gòu)件與夾緊環(huán)連接的擋盤,該擋盤包括一抓取面, 該抓取面與 一 穿過喇叭形構(gòu)件和擋盤的流動(dòng)系統(tǒng)連通,經(jīng)由該流動(dòng)系 統(tǒng)在伯努利吸盤上施加一超壓以后,在擋盤的抓取面上產(chǎn)生負(fù)壓,用 于吸取待抓取的晶片;以及一個(gè)支承環(huán)的涂橡膠的支承面,所述支承 面內(nèi)置在抓取面中,通過該支承面提供在抓取面上被吸住的晶片的防 滑的移動(dòng);和一個(gè)傳感器,用...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。