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抓具、特別是伯努利吸盤的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6922778

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本發(fā)明涉及一種抓具、特別是伯努利吸盤用于無接觸抓取平面的構(gòu)件如硅基的晶片,包括 一個(gè)與一可控制的機(jī)械手臂連接的夾緊環(huán); 一個(gè)經(jīng)由一喇叭形構(gòu)件與夾緊環(huán)連接的擋盤,該擋盤包括一抓取面, 該抓取面與 一 穿過喇叭形構(gòu)件和擋盤的流動(dòng)系統(tǒng)連通,經(jīng)由該流動(dòng)系 統(tǒng)在伯努利吸盤上施加一超壓以后,在擋盤的抓取面上產(chǎn)生負(fù)壓,用 于吸取待抓取的晶片;以及一個(gè)支承環(huán)的涂橡膠的支承面,所述支承 面內(nèi)置在抓取面中,通過該支承面提供在抓取面上被吸住的晶片的防 滑的移動(dòng);和一個(gè)傳感器,用...
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