技術(shù)編號(hào)：6922018
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及向處理腔室內(nèi)供給規(guī)定的處理氣體并使其等離子體 化，利用已等離子體化的處理氣體，處理配置在處理腔室內(nèi)的基板的 等離子體處理裝置。背景技術(shù)上述等離子體處理裝置構(gòu)成為，至少包括具有閉塞空間，在內(nèi)部收納基板的處理腔室；向處理腔室內(nèi)供給處理氣體的處理氣體供給機(jī)構(gòu)；對(duì)上述處理腔室內(nèi)進(jìn)行減壓的排氣機(jī)構(gòu)；施加高頻電力的高頻電源；和被高頻電源施加高頻電力，從而使供給至上述處理腔室內(nèi)的 處理氣體等離子體化的等離子體生成機(jī)構(gòu)等。作為使用這樣的等離子體處理裝置的基板處理...
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