技術(shù)編號：6912888
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于半導(dǎo)體集成電路芯片工藝領(lǐng)域，具體涉及在晶圓制造過程 中使用的控片和擋片。 背景技術(shù)晶圓是指制作硅半導(dǎo)體集成電路時所使用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在晶圓上加工制作各種電路元件結(jié)構(gòu)，可以使之成為具有特定電 性功能的IC (Integrated Circuit,集成電路)產(chǎn)品。在晶圓的制造過程中，需要使用控片(Monitor Wafer)和擋片(Dummy Wafer )?？仄闹饕饔檬潜O(jiān)控機臺的穩(wěn)定性和重復(fù)性。機臺從安裝到正式 投...
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