技術(shù)編號：6911274
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種抑制半導(dǎo)體器件的短信道效應(yīng)(ShortChannel Effect)的方法，且特別是有關(guān)于一種利用口袋型離子植入步驟(Pocket Implantation)以。附圖說明圖1A至圖1E所示，其繪示為公知一種半導(dǎo)體器件的制造流程剖面示意圖。請參照圖1A，首先提供一基底100。接著在基底100上形成一極結(jié)構(gòu)106，其中此柵極結(jié)構(gòu)106包括一柵氧化層102與一柵極導(dǎo)電層104。之后，以柵極結(jié)構(gòu)106為植入罩幕，進(jìn)行一離子植入步驟107，以在柵極...
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