技術編號:6905631
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種垂直發(fā)光二極管的制作方法,尤其是可以提高取光效率的 。背景技術近年來,垂直結(jié)構(gòu)GaN基發(fā)光二極管(LED)已成為研究開發(fā)的熱點。與傳 統(tǒng)正裝、倒裝結(jié)構(gòu)比較,垂直結(jié)構(gòu)LED通過晶圓鍵合或者電鍍、激光剝離(LL0) 等工藝的結(jié)合,將GaN基外延層從藍寶石襯底轉(zhuǎn)移到導電和導熱性能良好的金 屬或者半導體襯底材料上,形成電極上下分布,電流垂直注入,從而徹底解決 了正裝、倒裝結(jié)構(gòu)GaN基LED器件中因電極平面分布、電流側(cè)向注入導致的諸 如散熱不佳,電流分...
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