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一種線條傾斜的集成螺旋電感及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6905625

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本發(fā)明涉及一種集成螺旋電感及其制造方法,特別是一種集成螺旋電感 金屬線圈的每一段線條相對螺旋電感中心同時向內(nèi)或者向外傾斜一定角度的 集成螺旋電感及其制造方法。 背景技術(shù)高Q值(品質(zhì)因素)的片上集成螺旋電感是單片集成射頻電路、微波電 路中不可缺少的重要元件。雖然集成螺旋電感Q值明顯低于分離器件(一般Q 值在50左右),但它們在集成的射頻系統(tǒng)中還是有重要作用。金屬導(dǎo)體損耗、 襯底損耗及平面螺旋電感磁通量的相互抵消等是限制片上集成螺旋電感特性 的主要決定因素。若...
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