技術(shù)編號：6905133
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及太陽電池領(lǐng)域，具體涉及一種用于晶硅太陽電池的復(fù)合鈍化減反膜及其制備 方法。 背景技術(shù)為了提高太陽電池的轉(zhuǎn)換效率， 一方面，在太陽電池迎光面上通常需要制作光學(xué)減反射 薄膜(減反膜)，以保證盡可能多的光不被反射而進入到太陽電池內(nèi)部被吸收；另一方面， 需要在太陽電池表面上制備表面鈍化薄膜，以降低表面缺陷態(tài)所產(chǎn)生的復(fù)合中心，從而提高 光電流。在硅片表面上高溫?zé)嵫趸傻亩趸鑼杵砻婢哂辛己玫拟g化作用，高效硅太陽 電池中通常采用這種二氧化硅鈍化層。但...
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