技術(shù)編號(hào)：6905097
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體涉及離子注入器，本發(fā)明尤其涉及用于這種離子注入器的污染物收集器捕集器。背景技術(shù) 用于對(duì)例如半導(dǎo)體的工件進(jìn)行摻雜的傳統(tǒng)離子注入器通常包括離子化所需摻雜元件的離子源，該離子源接著加速以便形成具有預(yù)定能量的離子束。離子束指向工件表面以便以摻雜元素注入工件。離子束的高能(通常為正)離子滲入工件表面使其嵌入工件材料的晶體網(wǎng)格中以便形成所需傳導(dǎo)區(qū)域。注入過程通常在高真空處理腔室內(nèi)進(jìn)行，從而防止離子束與殘留氣體分子碰撞而分散并減少由空氣傳播顆粒造成的工件污染的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。