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相變存儲器的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6903927

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體,涉及一種存儲器的制備方法,尤其涉及一種相變存儲器的 制備方法。背景技術(shù)相變隨機(jī)存儲器(PCRAM)與目前的動態(tài)隨機(jī)存儲器(DRAM) 、 W存(FLASH)相比 有明顯的優(yōu)勢其體積小,驅(qū)動電壓低,功耗小,讀寫速度快,非揮發(fā)。相變存儲器不僅是 非揮發(fā)性存儲器,而且有可能制成多機(jī)存儲,并實用于超低溫和高溫環(huán)境,抗輻照、抗震動, 因此不僅將被廣泛應(yīng)用到日常的便攜電子產(chǎn)品,而且在航空航天的領(lǐng)域有巨大的潛在應(yīng)用。 尤其,在便攜式電子產(chǎn)品中其高速、非...
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