技術(shù)編號：6903923
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及芯片制造領域，尤其涉及一種分柵結(jié)構(gòu)的存儲器制造方法。 背景技術(shù)存儲器用于存儲大量數(shù)字信息，最近據(jù)調(diào)查顯示，在世界范圍內(nèi)，存儲器芯片大約占了半導體交易的30%，多年來，工藝技術(shù)的進步和市場需求催生越 來越多高密度的各種類型存儲器，如RAM (隨機存儲器)、DRAM (動態(tài)隨機 存儲器)、ROM(只讀存儲器)、EPROM(可擦除可編程只讀存儲器)、FLASH(閃 存)和FRAM (鐵電存儲器)等，.其中，閃存存儲器即FLASH已經(jīng)成為非易 失性半導體...
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