技術(shù)編號：6903918
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及薄膜晶體管的技術(shù)，特別是涉及一種制造薄膜晶體管的微晶硅薄膜的方法及設(shè)備的技術(shù)。背景技術(shù)薄膜晶體管(TFT)是電子平板顯示行業(yè)的核心部件，被廣泛應(yīng)用于從手機到大尺寸電視在內(nèi)的各種顯示應(yīng)用領(lǐng)域。 目前的薄膜晶體管技術(shù)主要有非晶硅薄膜晶體管、多晶硅薄膜晶體管和微晶硅薄膜晶體管。其中非晶硅薄膜晶體管具有遷移率低、穩(wěn)定性差的問題，不能適用于一些高要求的領(lǐng)域(如有機發(fā)光顯示器件)，多晶硅薄膜晶體管雖然可以解決上述問題，但其存在均勻性差，制造成本高的問題，而微...
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