技術(shù)編號:6902426
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造半導(dǎo)體器件的方法,更具體地,涉及一種 4吏用相變才才沖牛(phase change material)的多^f立存^f諸單元(multi-bit memory cell)結(jié)構(gòu)及其制造方法,相比于一4立(one-bit)存4諸單元,中可以使各種類型的信息能夠存入一個存儲單元中,從而降低具有 相同容量的芯片尺寸并提高存儲性能。背景技術(shù)由于半導(dǎo)體技術(shù)已經(jīng)發(fā)展,在生產(chǎn)大容量和高集成的半導(dǎo)體器 件方面,包括半導(dǎo)體器件的尺寸的總的降低方面已經(jīng)有了發(fā)展...
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