技術(shù)編號:6899935
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體元件的制造方法和半導(dǎo)體元件,特別是涉及具 備形成包括位錯集中區(qū)域的基板的工序的半導(dǎo)體元件的制造方法和具 備包括位錯集中區(qū)域的基板的半導(dǎo)體元件。對相關(guān)專利申請的交叉參考本專利申請基于2007年8月6日提交的、在先申請?zhí)枮?JP2007-203748、名稱為半導(dǎo)體元件的制造方法和半導(dǎo)體元件的在先申 請,YasutoMiyakeetal,因此,結(jié)合該專利申請作為參考。背景技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中,包括位錯集中區(qū)域的基板的制造方法是眾所周知 的。例如,在日...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。