技術(shù)編號：6899079
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體(COMS)圖像傳感器， 并且更特別地，涉及一種COMS圖像傳感器及其制造方法，其中在 形成微透鏡的同時形成焊盤開口 。背景技術(shù)圖l-6分別示出用于制造根據(jù)相關(guān)技術(shù)的COMS圖像傳感器的 方法的順序處理步艱朵。如圖1所示，示出了單位^象素區(qū)域和焊盤的外圍區(qū)域，通過 選擇性地向硅襯底中注入硼離子來形成P-阱50和N-阱。通過使用 器件介電處理填充溝槽來形成場氧化物層60,然后根據(jù)期望的閾電 壓形成期望厚度的柵氧化物層(未示出)...
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