技術(shù)編號：6899024
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種閃速存〗諸器件及其制造方法，更具體地，本發(fā) 明涉及一種，其中對溝道的內(nèi)壁(inner wall)實施用于形成隔離層的預(yù)注入，以將離子注入到有源區(qū)的兩 個拐角(corner)中，乂人而可通過補償由熱處理導(dǎo)致的乂人拐角中擴 散和滲漏離子來增強操作的可靠性。背景技術(shù)閃速存儲器件是一種非易失性存儲器件，即使是在不提供電源 時它也能4呆持存4諸在存<諸單元(memory cell)中的4言息，并且當(dāng)該 閃速存儲器件被安裝至電路板時，能夠?qū)ζ溥M(jìn)行高...
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