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Ⅲ族氮化物基化合物半導體發(fā)光器件的制作方法技術資料下載

技術編號:6898973

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本發(fā)明涉及in族氮化物基化合物半導體發(fā)光器件。本文中,III族氮化物基化合物半導體發(fā)光器件包括式為AlxGaylih+yN (x、 y和x+y均不小 于0且不大于1)并且摻雜有任意元素以具有n-型/p-型導電性的半導體。 此外,所述發(fā)光器件還包括其III族元素或IV族元素的一部分被B、 Tl、 P、 As、 Sb或Bi置換的半導體。背景技術III族氮化物基化合物半導體發(fā)光器件通常通過在異質(zhì)襯底上利用 MOVPE進行外延生長形成,此時其膜厚度沿具有所謂"Ga...
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