技術(shù)編號(hào):6898375
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種對(duì)基于施加外部壓力產(chǎn)生電容室變形的電容變化(電極間距離的變化)進(jìn)行檢測(cè)的。另一方面,在WO96/27123號(hào)(文獻(xiàn)1)中提出了基于與以往構(gòu)想不同的壓力傳感器。在該文獻(xiàn)1中提出的壓力傳感器中,在具有藍(lán)寶石等的彈性的基板內(nèi)設(shè)置電容室,在該電容室內(nèi)設(shè)置兩個(gè)相對(duì)的電極。在該構(gòu)成中,通過外加壓力使構(gòu)成電容室的基板自身發(fā)生壓縮變形,將伴隨基板變形的電極間距離的變化作為電容的變化而檢測(cè)。圖9是表示文獻(xiàn)1公開的壓力傳感器。如圖9所示,該壓力傳感器,通過將在凹...
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