技術(shù)編號：6896732
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。用于集成氣體系統(tǒng)氣體面板的靈活的歧管[OOOl]本發(fā)明涉及氣體傳輸系統(tǒng)。更具體地，本發(fā)明涉及用于氣體傳輸系統(tǒng)的靈活的歧管。進一步更具體地，本發(fā)明涉及用于集成氣體系統(tǒng)(IGS)氣體傳輸系統(tǒng)的靈活的歧管。技術(shù)背景圖li兌明了傳統(tǒng)的半導(dǎo)體蝕刻處理系統(tǒng)100。該傳統(tǒng)的半 導(dǎo)體蝕刻處理系統(tǒng)100包4舌氣體源102、通過氣體供應(yīng)管線106連4妄到該氣體源i02的氣體傳Hr面4反i04以及連4妻到該氣體傳車ir系統(tǒng)i04的處理室108。該氣體傳lt面^反104進一步包4...
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