技術(shù)編號：6894662
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶片等被檢査體進(jìn)行電特性檢査的檢査裝置，更詳細(xì)地說，涉及在使載置臺上的被處理體與探針卡(probe card) 的探針電接觸時(shí)、直接監(jiān)視載置臺的過激勵(lì)(overdrive)量的檢查裝置 和檢查方法。背景技術(shù)例如，如圖3所示，現(xiàn)有的檢查裝置具有裝置本體l;在該裝置 本體1內(nèi)配置成能夠向X、 Y、 z和e方向移動(dòng)并且載置被檢査體(例 如，晶片W)的載置臺2;具有與載置在該載置臺2上的晶片W上形成的多個(gè)電極墊接觸的多個(gè)探針3A的探針卡3;通過卡...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。