技術(shù)編號：6894343
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于檢測優(yōu)選為硅圓片的電試樣的電檢測設(shè)備，它包括 一個電連接裝置，所述連接裝置具有接觸面，這些接觸面用于實現(xiàn)可與試樣接通的觸點配置(Kontaktanordnung)的觸點接通，并且一個支承裝置與所 述連接裝置對應(yīng)。背景技術(shù)前面所述的電檢測設(shè)備用于與試樣實現(xiàn)電氣上的觸點閉合，以檢測它的 功能。這種電檢測設(shè)備與試樣形成電連接，即它一方面與試樣的電觸點實現(xiàn) 觸點閉合，另一方面提供與檢測系統(tǒng)電連接的電觸頭，這個系統(tǒng)通過檢測設(shè) 備向試樣發(fā)送電信號，為...
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