技術(shù)編號(hào)：6893581
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于集成電路器件制造技術(shù)范圍，特別涉及一種采用曝光場(chǎng)拼接技術(shù) 制造超大功率智能器件的方法。技術(shù)背景當(dāng)前電力電子器件的發(fā)展方向，包括了更大功率器件，智能化超大功率器件， 以及利用模塊化技術(shù)制造超大容量功率模塊等。提高器件輸出功率，始終是功率器件的重要目標(biāo)選項(xiàng)，而功率不斷提高通常 意味著單個(gè)器件的面積尺寸將不斷增加。在另一方面，由于對(duì)功率器件的性能指 標(biāo)不斷提出更高的要求，加工制造功率器件的工藝技術(shù)也在不斷地升級(jí)換代，當(dāng) 前能夠得到較好曝光質(zhì)量因而器件質(zhì)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。