技術(shù)編號:6893078
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別涉及。 背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展,存儲(chǔ)器的尺寸也在逐漸減小,然而,對存 儲(chǔ)器進(jìn)行編程和擦除操作的電壓卻并未相同程度地減小。因此,降低編程和 擦除電壓成為閃存進(jìn)一步按比例縮小的主要挑戰(zhàn)之一。目前,較常用的解決方案是在存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)單元中使用額外的擦除柵,通過增加和浮柵之間的耦合以降低擦除電壓。例如,申請?zhí)枮?00580019839.9 的中國專利申請公開了一種非易失存儲(chǔ)器器件,包括具有襯底表面的襯底; 該襯底表面內(nèi)的至少兩...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。