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化學(xué)機(jī)械研磨的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6893078

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別涉及。 背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展,存儲(chǔ)器的尺寸也在逐漸減小,然而,對存 儲(chǔ)器進(jìn)行編程和擦除操作的電壓卻并未相同程度地減小。因此,降低編程和 擦除電壓成為閃存進(jìn)一步按比例縮小的主要挑戰(zhàn)之一。目前,較常用的解決方案是在存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)單元中使用額外的擦除柵,通過增加和浮柵之間的耦合以降低擦除電壓。例如,申請?zhí)枮?00580019839.9 的中國專利申請公開了一種非易失存儲(chǔ)器器件,包括具有襯底表面的襯底; 該襯底表面內(nèi)的至少兩...
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