技術(shù)編號：6892149
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及納米硅變?nèi)荻O管，本發(fā)明還涉及納米硅變?nèi)荻O管的加工方法。(二) 背景技術(shù)現(xiàn)有的普通變?nèi)荻O管是利用單晶(C一Si)或單砷化鎵(C一GaAs)材料 的同質(zhì)或?qū)з|(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)成，其工藝大都是在100(TC左右的高溫下形成，反向漏 電為幾微安(PA)或毫安(mA)量級，工作溫度范圍低于150°C，大部分為緩 變結(jié)構(gòu)，其電流輸運機制為熱激發(fā)或空間電荷(SCLC)機制。(三) 發(fā)明內(nèi)容針對上述問題，本發(fā)明提供了一種納米硅變?nèi)荻O管，其以量子隧穿機制 為主要傳...
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