技術(shù)編號(hào)：6891646
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，更具體地，涉及清 洗方法和使用由電解硫酸制備的氧化性物質(zhì)制造電子器件的方法。背景技術(shù)通常，附著于液晶顯示屏或等離子顯示屏(PDP)基板和半導(dǎo)體片 上的有機(jī)材料、金屬雜質(zhì)、顆粒、干蝕殘?jiān)陀泻饘偻ㄟ^SPM清洗 方法除去，這種方法使用高溫下的硫酸和過氧化氫溶液的混合液；或 通過基于主要由有機(jī)胺組成的聚合物清除劑的清洗方法來除去。相反，JP-A 2006-111943(Kokai)公開了使用由電解硫酸溶液得到 的過硫酸鹽離子的清洗方法。隨著近來裝置...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。