技術(shù)編號：6890802
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件，更具體地說，本發(fā)明涉及鐵電存儲 器件及其形成方法。背景技術(shù)通常，可以將半導(dǎo)體存儲器件劃分為易失性存儲器件和非易失性 存儲器件。切斷電源，易失性存儲器件丟失數(shù)據(jù)，而非易失性存儲器 件即使切斷電源仍可以保持存儲數(shù)據(jù)。鐵電存儲器件或者鐵電隨機(jī)存取存儲(FRAM)器件是一種非易 失性存儲器件，而且不丟失存儲數(shù)據(jù)，因為鐵電材料具有自發(fā)極化特 性。因此，該FRAM器件可以具有突出的數(shù)據(jù)保存特性。此外，與其 他非易失性存儲器件相比，F(xiàn)RAM器件...
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