技術(shù)編號：6890794
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及 一 種加熱絕緣性基板的表面部分并對其實施規(guī) 定處理的，例如涉及一種加熱形 成于絕緣性基板表面的導(dǎo)電層并在其上進(jìn)行形成膜的基板處理 裝置及基板處理方法。背景技術(shù)作為在基板上形成金屬、半導(dǎo)體、絕緣物質(zhì)等薄膜的方法， 化學(xué)氣相沉積法、熱氧化法、等離子體氧化法、真空蒸鍍法、 濺鍍法、分子束外延法、表面涂層法等各種方法已付諸實用。 在這些方法中，為了控制膜特性，在成膜時加熱基板。例如， 在制造可適用于太陽能電池等的光一電轉(zhuǎn)換裝置中，在被處理基板表面上形成...
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