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金屬線接合方法和接合力校準的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6890282

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本發(fā)明涉及金屬線環(huán)的形成,具體涉及在金屬線接合過程中施加 接合能量和/或接合力的改進方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置的處理和封裝中,金屬線接合一直是提供封裝內(nèi)兩 個位置之間電互連的主要方法(即半導(dǎo)體管芯的管芯焊盤(die pad) 和引線框的引線之間)。具體的,使用金屬線接合機在各個位置之間形 成金屬線環(huán),從而電互連。典型的普通金屬線接合順序包括(1)在從接合工具延伸的金屬 線的端部上形成無空氣球;(2)在半導(dǎo)體管芯的管芯焊盤上利用無空氣 球形成第一接合部;(3...
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