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使用智能算法的實時腔室監(jiān)控方法技術資料下載

技術編號:6890200

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置(holding)、沉積(CVD)或蝕刻工藝期間,實時監(jiān)控腔室的技術,更為具 體地,涉及一種,該方法在腔室泄漏從而 外部空氣引入到腔室時能夠通過使用時間序列神經網絡算法(或智能算法)腔室的泄漏,并且在停置、沉積或蝕刻基底的工藝期間能夠實時監(jiān)控來自腔 室的等離子體發(fā)射,從而通過監(jiān)控檢測等離子體光譜中的氮(N2)、氧(02)、 氬(Ar)等的特定光譜。背景技術眾所周知的,在通過使用等離子體的裝置在真空中制造半導體基底(或 晶片)的工藝期間,將諸如多晶硅、氧化...
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