技術(shù)編號：6890184
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。降低BEoL互連結(jié)構(gòu)中的總介電常數(shù)的工藝集成方案相關(guān)申請的交叉引用本發(fā)明大體上涉及半導(dǎo)體器件領(lǐng)域，更具體地涉及用于其 制造的后端線程(BEoL)互連結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)通過特征(如晶體管)的進一步小型化，可以至少部分地 實現(xiàn)提高的半導(dǎo)體器件性能。減小的特征尺寸和減小的特征之間的 間距允許在單位面積中設(shè)置更多的特征以得到更好的器件性能。后 端線程(BEoL)互連結(jié)構(gòu)包括連4妄特征的導(dǎo)電線。隨著特4正密度的 增大，導(dǎo)電線的寬度和導(dǎo)電線之間的間距也需要按比例縮小。使B...
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