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具有熱阻擋體的熱傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6889880

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本發(fā)明涉及傳感器并尤其涉及形成在半導(dǎo)體村底中的熱傳感器。本發(fā) 明特別涉及如下的熱傳感器,其具有在傳感器和襯底上的熱源之間形成的 熱阻擋體,使得熱傳感器的輸出能夠與來(lái)自共同位于襯底上的熱源的任何 偽貢獻(xiàn)相隔離。背景技術(shù)傳感器在所屬領(lǐng)域是眾所周知的。當(dāng)形成在例如珪或鍺的半導(dǎo)體材料中時(shí),這樣的傳感器可以提Wt為^結(jié)構(gòu),例如作為MEMS布置,或者 作為電磁(EM)輻射傳感器,例如紅外線(IR)傳感器。通過(guò)使用例如硅 的材料,有可能通過(guò)蝕刻和其他半導(dǎo)體處理技術(shù)在晶片...
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