技術(shù)編號：6889570
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及波長轉(zhuǎn)換半導(dǎo)體發(fā)光裝置。 背景技術(shù)包含發(fā)光二極管(LED)、諧振腔發(fā)光二極管(RCLED)、垂直腔 激光二極管(VCSEL)以及邊發(fā)射激光器的半導(dǎo)體發(fā)光裝置是目前可 獲得的最高效的光源之一。在能夠于可見光譜工作的高亮度發(fā)光裝置 的制造中，當(dāng)前感興趣的材料體系包含III-V族半導(dǎo)體，特別是鎵、鋁、 銦和氮的二元、三元以及四元合金，也稱為III族氮化物材料。典型地， III族氮化物發(fā)光裝置通過金屬有機化學(xué)氣相沉積(MOCVD )、分子束 外延(MBE...
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