技術(shù)編號(hào)：6888490
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種軟x-射線靜電除去裝置中軟x-射線屏蔽板。在制造半導(dǎo)體基板、液晶基板、有機(jī)電致發(fā)光(EL)基板時(shí)，靜電除去 裝置防止灰塵附著到這些基板的表面。它也防止了基板因靜電帶電。 因此，它防止了基板電i 各的損壞。本發(fā)明也涉及該屏蔽^1的制造方法。背景技術(shù)有許多問題會(huì)損壞基板電路，例如半導(dǎo)體基板、液晶基板、有機(jī) EL基板表面上的靜電。在加工或處理基板時(shí)電荷會(huì)聚集在基板表面。 此外，基板上的電荷使得灰塵附著在表面。為解決這些問題，為半導(dǎo)體，液晶，有機(jī)EL...
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