技術(shù)編號：6887644
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于傳送，存儲，及傳遞襯底，特別是在制造微電元件，例如制造微電機械系統(tǒng)(MEMS)或微光電機械系統(tǒng)(M0EMS)的步驟間。更特 別地，本發(fā)明屬于傳送和存儲襯底的艙體以及傳遞這些襯底的接口裝置。背景技術(shù)襯底主要以正方形掩?；蛴砂雽w材料如硅制成的圓形晶片的形式 出現(xiàn)。在目前使用的裝置中，在制造半導體的各種步驟間，襯底在傳送艙中 傳送和存儲，防止被寒冷場所氣氛中的粒子污染。通常，傳送艙包括一個 或多個堆疊的襯底。襯底可以是掩?；蛘吖杈?，直徑為例如200...
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