技術(shù)編號：6886918
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及工件夾具及使用該工件夾具的引線接合(wire bonding)裝 置，尤其涉及即使減少氧化抑制氣體的使用量，也能夠充分抑制接合區(qū)域 的氧化的工件夾具及引線接合裝置。背景技術(shù)圖5是表示以往的引線接合裝置的工件夾具的剖視圖。該工件夾具在 接合對象物為裸銅焊絲引線框的情況下或在接合引線為銅的情況下具有 防止銅的氧化的機構(gòu)。該機構(gòu)向與接合區(qū)域相通的開口 17導(dǎo)入氮氣等惰 性氣體。保持沖模18的引線框12的形態(tài)的半導(dǎo)體設(shè)備被配置于引線接合裝置 的平臺或上部...
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