技術編號：6886588
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是涉及對基板上的分析對象物質進行分析的分析方法和分 析裝置。背景技術近年來，半導體裝置的高性能化不斷進展，半導體裝置的制造工序中的污染(contamination)的管理就顯得尤為重要。例如，在半導體 制造中，如果Si基板受到金屬元素的污染，就有可能導致在Si基板上 形成的裝置不能得到所希望的性能，還有可能導致半導體裝置制造的 成品率下降。例如，作為檢測Si基板上由金屬引起的污染的方法，己知在Si 基板上滴加HF等能夠溶解金屬的溶解液使金屬溶解，然后...
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