技術(shù)編號：6876961
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明與一種導體軌道裝置及其相關(guān)制造方法有關(guān)，特別是一種具有所謂”空氣間隙”空穴的導體軌道裝置。背景技術(shù) 導體軌道裝置是特別使用在半導體技術(shù)中，以實施半導體組件的布線。在此裝置中，通常在例如像是一種半導體基板的電力傳導承載基板上，形成介電質(zhì)層或絕緣層，并在此之上形成一電力傳導導體軌道層，在進行圖形化之后，所述導體軌道層便代表最后的導體軌道。在此之后，連續(xù)地形成另一絕緣層與電力傳導層，其造成的層堆棧也藉由利用所謂的”通道(vias)”而提供復雜的接線圖形。所...
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