技術(shù)編號：6876730
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種對于半導(dǎo)體薄板、液晶顯示裝置用玻璃基板(以下僅稱為基板)等的基板，利用含有硫酸和雙氧水的處理液，進行處理的基板處理方法及其裝置。背景技術(shù) 到現(xiàn)在為止，作為此種裝置(例如JP特開平5-166780號公報)，具備收容基板的處理槽，向處理槽供給硫酸(H2SO4)的硫酸供給線，向處理槽供給雙氧水(H2O2)的雙氧水供給線。在該裝置中，處理基板之前，先將硫酸和雙氧水按規(guī)定的混合比(例如7∶3)向處理槽供給，在處理槽內(nèi)存積處理液。該處理液，主要用于除去附...
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