技術(shù)編號(hào)：6876444
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板清洗刷、和使用該刷的基板處理裝置以及基板處理方法。作為處理的對(duì)象的基板例如包括半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用基板、FED(Field Emission Display場致發(fā)射顯示器)用基板、光盤、或者磁盤等。背景技術(shù) 半導(dǎo)體基板(晶片)的表面，并非其全部區(qū)域都用于器件的形成。即，半導(dǎo)體基板的表面的周邊部的規(guī)定寬度的區(qū)域是不形成器件的非器件形成區(qū)域。該非器件形成區(qū)域的內(nèi)側(cè)的中央?yún)^(qū)域?yàn)槠骷纬蓞^(qū)域。在半導(dǎo)體裝置的制造工序中，用...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。