技術(shù)編號：6876324
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種平板顯示器制造設(shè)備，該平板顯示器制造設(shè)備用于在真空狀態(tài)下產(chǎn)生等離子，從而對基片進行預(yù)定的處理。背景技術(shù) 通常地，用于制造平板顯示器——例如液晶顯示器(LCD)和等離子顯示面板(PDP)——的平板顯示器制造設(shè)備包括一個載荷鎖定腔、一個傳送腔、以及處理腔。載荷鎖定腔、傳送腔、以及處理腔如圖1所示地彼此連接。閘式閥G安裝在各個腔之間而獨立地保持住各個腔之間的真空環(huán)境。載荷鎖定腔10與外部連接，以用于從外部導(dǎo)入一個待處理的新基片、以及將在平板顯示器制...
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