技術(shù)編號：6875912
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種度量裝置，尤其是可以用于光刻裝置、加工裝置或者用作獨立器件以及尤其是可以用作器件制造方法的一部分的度量方法的一種。背景技術(shù) 光刻裝置是可在基片、通常是基片的目標部分上施加所需圖案的機器。光刻裝置例如可用于集成電路(IC)的制造中。在這種情況下，可采用圖案形成裝置來產(chǎn)生將形成于IC的單個層上的電路圖案，該圖案形成裝置也稱為掩?；蚍謩澃濉Ｔ搱D案可被轉(zhuǎn)移到基片(如硅晶片)上的目標部分(例如包括部分、一個或多個管芯)上。圖案的轉(zhuǎn)移通常借助于成像到設(shè)于...
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