技術(shù)編號：6875859
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造集成電路的方法，或者更具體地涉及包括具有矩陣結(jié)構(gòu)的矩陣器件(包括電-光顯示器和半導(dǎo)體存儲器)和作為開關(guān)元件的MOS或MIS(金屬-絕緣體-半導(dǎo)體)型場效應(yīng)元件(下文一般稱之為MOS型元件)的半導(dǎo)體電路，其特征在于它的動態(tài)工作，諸如液晶顯示和動態(tài)RAM(DRAM)及其驅(qū)動電路或類似圖像傳感器的集成驅(qū)動電路。本發(fā)明特別涉及一種采用薄膜半導(dǎo)體元件，諸如形成于絕緣表面的薄膜半導(dǎo)體晶體管或類似物，如MOS型元件的器件，還涉及具有薄膜晶體管的、其有源...
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