技術編號：6874794
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。背景技術 基于偏振的或復用的外差干涉儀中的測量光學器件，例如那些在半導體器件制造設備中用于精密測量的測量光學器件，通常使用包括不同頻率的正交偏振成分的光束。在外差干涉中使用雙頻/雙偏振光源。兩個正交偏振的光束成分之間的頻率差很重要，因為它可能限制物體以多大速度移動時仍能夠用這類測量系統(tǒng)精確測量距離。Zeeman(塞曼)分裂HeNe激光器可以提供正交偏振的光成分，但是差頻限制在最大約為8MHz。雙模穩(wěn)頻HeNe激光器也可以提供具有頻率間隔的兩個正...
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