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一種藍寶石襯底上的發(fā)光二極管芯片的制作方法技術資料下載

技術編號:6874045

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本發(fā)明涉及半導體,特別涉及一種在藍寶石襯底上的發(fā)光二極管芯片的切割分離方法。背景技術 發(fā)光二極管(LED)是一種將電能轉化為光能的固體發(fā)光器件,由于其具有壽命長,體積小,耐震性好,節(jié)電,高效,響應時間快,驅動電壓低,環(huán)保等優(yōu)點,而廣泛用于指示,顯示,裝飾,照明等諸多領域,成為我們生活中必不可少的一部分。用于上述領域的發(fā)光二極管的核心技術是芯片制造技術。本發(fā)明涉及發(fā)光二極管芯片的制造技術,特別涉及生長在藍寶石襯底上的氮化鎵發(fā)光二極管芯片的切割分離方法。原有的...
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