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薄膜器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6873311

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本發(fā)明涉及具備線圈的薄膜器件。背景技術(shù) 近年,在各種用途的電子設(shè)備領(lǐng)域,廣泛使用在具有導(dǎo)電性的基體上與該基體絕緣地設(shè)有線圈的薄膜器件。作為這種薄膜器件的一個示例,列舉下述薄膜電感器,即作為所述具有導(dǎo)電性的基體,具備磁體(磁性膜),并且具有沿著該磁性膜表面卷繞線圈的結(jié)構(gòu)。該薄膜電感器是具有電感的電路元件。關(guān)于以該薄膜電感器為代表的薄膜器件,隨著裝載該薄膜器件的電子設(shè)備的小型化,要求低高度化。為了實(shí)現(xiàn)該薄膜器件的低高度化,雖然只要縮短線圈和磁性膜之間的間隔即可...
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