技術(shù)編號：6872817
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般和半導(dǎo)體制造有關(guān)，更明確地說，是關(guān)于利用保熱層來結(jié)晶非晶硅膜以制造半導(dǎo)體元件的方法。背景技術(shù) 由于對具有更高分辨率顯示器的小型電子產(chǎn)品的需求，激起液晶顯示器(LCD)領(lǐng)域不斷地進(jìn)行研發(fā)。LCD中有一重要元件為薄膜晶體管(TFT)。TFT通常是制造于透明基板(如玻璃或塑料基板)上，且運用薄膜硅半導(dǎo)體。薄膜硅半導(dǎo)體通常包含非晶硅(a-Si)半導(dǎo)體及多晶硅(p-Si)半導(dǎo)體。非晶硅半導(dǎo)體最常使用，因為它們可通過量產(chǎn)以非常低廉的成本來制造。p-Si半導(dǎo)體...
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